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硅片
单晶硅片 125x125mm
单晶硅片技术参数
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晶体类型 |
单晶 |
生长方式 |
CZ |
导电类型 |
P型 |
掺杂剂 |
硼 |
晶向 |
<100>±1° |
电阻率 |
1-3Ω.cm |
少子寿命 |
≥ 10μs |
氧含量 |
≤1.0×1018 atoms/cm3 |
碳含量 |
≤ 5×1016 atoms/cm3 |
硅片边长 |
125×125±0.5mm |
硅片直径 |
150±0.5mm；165±0.5mm |
厚度 |
200±20μm |
总厚度差异 |
≤30μm |
线痕 |
≤20μm |
翘曲度 |
≤35μm |
裂缝 |
无 |
崩边 |
无 |
表面质量 |
清洁,无污,无指纹,无凹坑,无孔洞 |
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多晶硅片 156x156mm
多晶硅片技术参数
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晶体类型 |
多晶 |
导电类型 |
P型 |
掺杂剂 |
硼 |
电阻率 |
1-3Ω.cm |
少子寿命 |
≥ 2μs |
氧含量 |
≤1.0×1018 atoms/cm3 |
碳含量 |
≤ 5×1017 atoms/cm3 |
硅片边长 |
156x156±0.5mm |
硅片直径 |
219±0.5mm |
厚度 |
200±20μm |
总厚度差异 |
≤30μm |
线痕 |
≤20μm |
翘曲度 |
≤20μm |
裂缝 |
无 |
崩边 |
无 |
表面质量 |
清洁,无污,无指纹,无凹坑,无孔洞 |
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